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郭旺光学光刻机曝光系统生产基地项目取得新进展

据微网消息，北京公共资源交易服务平台近日发布《投影光刻机曝光光学系统研发及批量生产基地项目洁净工程中标候选人公示》，四联智能科技有限公司等3家公司位列中标候选人。公开资料显示，生产基地的建设单位为北京郭旺光学技术有限公司，运营和研发的核心团队成员均来自国内唯一的超精密光学系统工业技术研发单位——长春郭克精密。郭旺光学的基本定位是建立中国自主的超精密光学产业技术研发和生产体系，形成大规模集成电路制造投影光刻机曝光光学系统和高端精密光学仪器设备的量产和供应能力，从根本上解决中国集成电路制造投影光刻机